Mikromechanické systémy (BMMS)

  • Volitelný předmět
  • 5 kreditů


Charakteristika předmětu:

Základní rozdělení principů snímaní fyzikálních a chemických veličin, principy funkce a konstrukce mikrosenzorů a mikroelektromechanických systémů (MEMS).


Zaměření:

Předmět se zaměřuje na principy konstrukce parametrických (odporové, kapacitní, indukčnostní), generátorových (založených na jevech v materiálech), polovodičových a optických mikrosenzorů pro snímání fyzikálních veličin a jejich převodu na elektrický signál. Vedle principů je nutné znát i materiály používané pro konstrukci a to včetně jejich vlastností. Předmět se zaměřuje také i na zopakování mikroelektronických technologií (tenkovrstvé, tlustovrstvé, polovodičové) a podrobně ukazuje techniky mikroobrábění používané pro konstrukci MEMS. Další část je věnována speciálním senzorům kam patří především chemické senzory (elektrochemické, senzory plynů, povrchový plazmon, chemiluminiscence a další) a biosenzory. Z hlediska materiálů využívaných v chemických senzorech jsou ukázány i možnosti využití nanotechnologií. Nakonec jsou probrány konstrukce mikroelektromechanických systémů (MEMS).

obrázek_bmms1obrázek_bmms2


Cvičení:

Laboratorní úlohy pro procvičení určení parametrů senzorů a stanovení charakteristik doplněné jedním numerickým cvičením pro procvičení návrhu vrstvových senzorů.

Karta předmětu BMMS v PDF.